金融界2024年9月18日消息，天眼查知识产权信息显示，昂坤视觉（北京）科技有限公司取得一项名为“一种晶圆检测方法和装置“，授权公告号CN115184376B，申请日期为2022年7月。
专利摘要显示，本申请公开了一种晶圆检测方法和装置，检测方法包括以下步骤：正面检测步骤，控制第一光源组、第二光源组分别选择性发光生成第一组合光，控制第一镜头组获取在第一组合光照射下的待检测晶圆的正面检测图像；背面检测步骤，控制第二光源组、第二光源组分别选择性发光生成第二组合光，控制第二镜头组获取在第二组合光照射下的待检测晶圆的背面检测图像；表面缺陷获取步骤，根据正面检测图像和背面检测图像获取待检测晶圆的表面缺陷；在正面检测步骤中，第二光源组为背光源；在背面检测步骤中，第一光源组为背光源。第一光源组和第二光源组配合使用，无需对第一检测模块和第二检测模块设置背光源，提高了检测效率，减少了配件数量，节省了检测成本。
本文源自金融界
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