金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市汇芯通信技术有限公司申请一项名为“一种光刻多复用装置及其制作方法”的专利，公开号CN118915401A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明属于半导体技术领域，公开了一种光刻多复用装置及其制作方法，所述装置包括设置于光刻机载片台与曝光光源之间的水平支架以及内嵌于水平支架上的圆形镂空区；圆形镂空区中间设置有若干隔离带，且若干隔离带等面积分割圆形镂空区；水平支架上设置有滑轨凹槽，且滑轨凹槽设置于圆形镂空区的外周；圆形镂空区的上方设置有具有镂空结构的遮光罩，且遮光罩的支撑脚活动安装于滑轨凹槽中，水平支架的外边框与滑轨凹槽之间设置有若干对准线，且若干对准线等距离分割滑轨凹槽的周长。本发明提供的光刻多复用装置，有效的保证了光刻装置在进行多次光刻试验时晶圆上的曝光区域的面积相同，且能够通过相邻的两个隔离带区分出晶圆上的各个曝光区域。
本文源自金融界
版权声明：本站所有作品（图文、音视频）均由用户自行上传分享，仅供网友学习交流，不声明或保证其内容的正确性，如发现本站有涉嫌抄袭侵权/违法违规的内容。请举报，一经查实，本站将立刻删除。