金融界2024年11月11日消息，国家知识产权局信息显示，圆益IPS股份有限公司申请一项名为“基板处理装置”的专利，公开号CN118919464A，申请日期为2023年8月。
专利摘要显示，根据本发明的一实施例的基板处理装置包括：工艺腔室，在内部形成用于处理多个基板的处理空间；气体喷射部，形成在所述工艺腔室上侧，并且向所述处理空间喷射处理气体；基板支撑部，在所述工艺腔室内部与所述气体喷射部相向形成，并且形成有多个，以放置所述多个基板；基板传送部，设置在所述工艺腔室，并且将分别放置于所述基板支撑部的所述多个基板在所述基板支撑部中传送于相互不同的基板支撑部；基板旋转部，形成在多个所述基板支撑部中彼此相邻的所述基板支撑部之间，以分别放置所述多个基板，并且旋转已放置的所述多个基板；其中，所述基板旋转部可包括张力调节部，以调节张力。
本文源自金融界
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