金融界2024年8月28日消息，天眼查知识产权信息显示，江苏亚电科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆提升干燥方法“，公开号，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本申请涉及一种晶圆提升干燥方法，晶圆先在第一位置进行第一预设时间的干燥，再在提升一定高度的第二位置进行第二预设时间的干燥，由于晶圆在第一位置和第二位置时，晶圆与晶圆升降机构的接触位置、晶圆与旋转支撑块的接触位置不同，因此，能够起到更好地干燥效果。
本文源自金融界
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