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无锡亚电取得一种单片晶圆清洗装置的风道装置专利，通过一个装置实现不同废气排放
2026-01-21 09:47:58
金融界
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摘要：
金融界2024年9月27日消息，国家知识产权局信息显示，无锡亚电智能装备有限公司取得一项名为“一种单片晶圆清洗装置的风道装置”的专利，授权公告号CN221762949U，申请日期为2024年1月。专利
金融界2024年9月27日消息，国家知识产权局信息显示，无锡亚电智能装备有限公司取得一项名为“一种单片晶圆清洗装置的风道装置”的专利，授权公告号CN221762949U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本申请涉及一种单片晶圆清洗装置的风道装置，属于晶圆清洗设备技术领域，气体从单片晶圆清洗装置的内腔进入集气组件、管道、分气组件并通过阀门进入风道，每个集气组件、管道、分气组件内的空间、子风道分别在单片晶圆清洗装置的不同清洗阶段工作，以将不同清洗阶段产生的废气排出。从而通过一个装置实现不同废气的排放，使得流道的布置更加简洁，整个装置安装更加方便。
本文源自金融界